Magneticf相关论文
本文叙述了多极磁约束的反应离子刻蚀装置。该装置具有结构简单，低损伤和各向异性刻蚀的优点。在射频率为１００Ｗ，工作压强为１．３３Ｐａ氩气氛中，典型的......
采用化学合成法制备了磁纳米Ca/Al/Fe<sub>3</sub>O<sub>4</sub>固体催化剂,并将其用于菜籽油与甲醇酯交换反应的研究。考察了磁纳......
微机电系统（ＭＥＭＳ）是正在国际上发展的新兴学科，微马达是微机电系统中的关键器件，本文介绍了研制成的直径为２ｍｍ、高０．７ｍｍ的电磁型微马达的结构特点，并......
